油扩散真空泵概述

油扩散真空泵（简称油扩散泵）是用于获得高真空或超高真空的主要设备。它广泛应用于电子工业，化学工业，真空冶金，真空热处理，真空镀膜设备，原子能工业和空间模拟设备等高科技领域。扩散泵的工作压力范围为10 ^ -2Pa〜l0 ^ -5Pa，极限压力一般为7倍，10 ^ -6Pa。如果通过高温烘烤脱气，则可获得10 ^ -8Pa的真空。该泵具有大的抽速和宽的抽速范围（每秒几升到每秒100,000升以上）。它具有结构简单，无机械活动部件，使用寿命长，可靠性高，操作维修方便等特点。我国制定了油扩散泵行业标准。该标准规定了泵的技术性能，类型，参数和测试方法。国内许多真空生产厂家都有定型系列（K，KT）产品。新型KTD系列高真空低回油扩散泵具有抽速大（300L / smdash，55000L / s），回油率低的优点[le，6倍，10 ^ -4g /（cm ^ 2.s）] ，该泵将水冷式挡油盖与泵体整体结合在一起，简化了结构，提高了真空泵系统的有效泵速。 ZK系列高真空充胀油泵根据其抽油机理仍是扩散油泵。它的特点是在1.3倍和10 ^ -lPa的抽速下具有较大的抽速，并且采用内部加热方法来缩短泵的启动时间。时间。